划片后如何去除晶圆表面蓝膜的残胶？

1.湿法清洗:用纯水或其他清洗液冲洗晶圆片，彻底去除胶粒和溶剂或溶液残留。这种方法可以有效去除表面蓝膜的残胶，在处理过程中相对安全，适用于一般情况下的表面污染。

2.使用有机溶剂:用有机溶剂浸泡晶圆表面的蓝膜残胶，使软化容易去除。然后，可以用棉签或无尘布轻轻擦拭晶圆表面，将残留的细胞完全去除。该方法适用于顽固残留物，软化后更容易去除。