量块比较仪简介

目前有几种先进的仪器:德国FMS、德国mahr、瑞士萨特、国产NANOCHECK。

原理是通过测量点与测量块的比较，得到待测块的尺寸。

以下是德国FMS的技术参数及其与其他仪器的比较:

校准平行量块的测量工作站

快速、可靠、高精度(不确定度如1)

测量范围:0.5～100毫米

重复性:0.01微米米

不确定度:0.03微米+ 0.3 x升(升以米为单位)

EMP II校准附件中的一套6对量块，每套K级精度满足以下要求:

EAL-G21校准量块比较仪欧洲实验室认可联盟

DKD-R 4-1德国校准服务(DKD)指导文件用于校准量块比较仪对1(A = 0.5mm；B= 0，5 mm)对2 (A= 1，0mm；B= 1，005 mm)对3 (A= 1，0mm；B= 1，01 mm)对4 (A= 4，0mm；B= 4，0 mm)对5 (A= 100，0mm；B= 100，0 mm)对6 (A= 6，0mm；B = 6,0毫米)

一个特殊的凹槽量块(如图所示)用于确定下探头b的测量偏差。

各种量块比较仪的比较